中文名称:三氟化氮
中文别名:氟化氮
CAS No:7783-54-2
EINECS号：232-007-1
分子式:F3N
沸点:-129℃
折射率:1.187
密度:1.361
外观无色气体
用途:NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用NF3和CF4＋O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。氢与NF3反应，在瞬间伴随放出大量的热，这就是NF3在高能化学激光器方面大量应用的原理。在高温下，NF3与有机化合物反应常伴有爆炸性，操作时应十分谨慎。用作高能燃料。
安全说明:17-23-38
危险品运输编号：UN 2451