中文名称:四氟甲烷
中文别名:四氟化碳
CAS No:75-73-0
EINECS号：200-896-5
分子式:CF4
沸点:-128 oC
折射率:1.113 (-53 C)
密度:3.04 (vs air)
外观无色气体
用途:1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。 2.是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产..
安全说明:38
危险品运输编号：UN 1982