中文名称:电子级乙硅烷
中文别名:乙硅烷
CAS No:1590-87-0
EINECS号：216-466-5
分子式:H6Si2
沸点:-14,5°C
闪光点:<10°C
密度:0,686 g/cm3
外观无色气体带有一种 恶臭的 气味
用途:用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能..
安全说明:16-24-26-36/37/39
危险品运输编号：2203